四探針電阻率測試工作原理工作原理及組成部分

四探針測試儀的測試理論已經(jīng)相當成熟，依據(jù)的理論是范德堡原理，采用的是直流四探針測試法，如圖1所示，是用針距為1mm的四根探針同時壓在樣品的表面上，利用恒流源給外面的1，4探針通過電流，再從2，3探針上測量出電位差，經(jīng)過相關(guān)運算得到材料的電阻率.當四根探針排成一直線時，并施加一定壓力在半導(dǎo)體上時，則半導(dǎo)體的材料電阻率：ρ=CV/I （Ω·cm）

式中C為探針修正系數(shù)，cm，當針間距確定后是一個常數(shù)，與樣品無關(guān)，V₂₃為2，3針間的電壓，V；I為通過的電流，mA.